设备介绍:
− 应用于Unit在普通Boat与磁性Boat之间转换的制程
−设备能选择两种不同的模式实现普通与磁性Boat之间的组合转换
−设备采用4轴Robt将Unit转移,确保了转移精度
−设备具备Vision检测功能,实现转移前后Boat和Unit状态和缺陷检测
−具备2D扫码功能,实现Boat 盖板等解绑与重新绑定
− 具备SECS/GEM通讯协议,为自动化生产提供渠道
− 具有CCTV监控系统:实时记录设备状态
− UPH>1800
− 占地面积: 高H2000 x 宽W1500 x 长L1850mm
− 净重: 1300kg