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SWA-120 在线晶圆自动光学检测系统
    发布时间:2022-09-22    


设备用途：

− 检测200um晶圆点胶后的胶体覆盖品质

设备介绍：

− Vision检测200um晶圆

− 陶瓷吸盘

− 六轴机械手插片

− 定位精度±0.03mm 

− UPH >120K/H

设备参数：

尺寸：H1800 x W1750 x L1800mm

重量：1500kg