设备概述
全自动Boat（载具）检测系统，集成3D激光线扫与高分辨率2D视觉，对半导体封测用Boat进行变形、分层、Pin歪斜、穴位尺寸、毛刺、残胶等多项检测。设备具备双轨移载、料盒独立上下料及OK/NG自动分拣功能，是半导体封测产线来料质检与在线检测的理想选择。
主要应用
半导体封测厂来料Boat质量抽检
产线在线Boat全检
Boat供应商出货检测
返修Boat重新验证
检测项目
检测项目 | 检测方式 | 精度/阈值 |
Boat变形（凹陷/弯曲） | 3D激光线扫 | ≥0.2mm可检出 |
Boat分层 | 3D激光线扫 | 高度差≥0.3mm |
Pin歪斜 | 3D激光线扫 | ≥1.3mm偏差 |
穴位尺寸 / PIN尺寸 | 3D + 2D视觉 | 2D像素精度0.0277mm |
毛刺 / 残胶 | 2D高分辨率相机 | ≥0.1mm可检出 |
二维码/条码 | 读码器 | 自动绑定并上传MES |
工作流程
上料：操作员将装满Boat的料盒放入上料位，设备自动读取料盒二维码
料盒出料：Boat自动推出，进入双轨移载机
扫码与分流：读取每片Boat二维码，分送至两组独立检测轨道
3D激光检测：3D激光线扫检测变形、分层、Pin歪斜（4-10秒/片）
2D视觉检测：2D相机检测毛刺、残胶、穴位尺寸（约5秒/片）
结果判定与绑定：融合3D+2D结果判定OK/NG，与Boat二维码绑定上传MES
自动分拣：OK Boat进入良品料盒，NG Boat导入专用NG料盒
料盒下料：人工收走满料盒
核心优势
双通道并行：上料、检测、下料均采用双轨移载，效率提升近一倍
3D+2D融合：变形、分层用3D精准测量；毛刺、残胶用2D高分辨率识别，各取所长
柔性配置：3D激光精度可选（0.02mm/0.04mm），2D相机视场覆盖主流Boat尺寸
全流程追溯：料盒二维码 + Boat二维码双重绑定，数据实时上传MES
NG专用料盒：不良品物理隔离，避免混料风险
兼容性强：支持多种Boat规格，换型仅需简单调节
